La solution
L'équipe en charge du projet avait besoin d'analyser les raisons de cette variation importante au niveau de l'épaisseur du film et d'éliminer les facteurs possibles
IDENTIFIER LA CAUSE PROFONDE SUR LA LIGNE DE PRODUCTION
L'équipe souhaitait déterminer si les écarts au niveau de l'épaisseur du film étaient causés par le système de mesure ou des erreurs de procédé. Elle a utilisé la plate-forme de test de produit Topcon, un outil de test standard dans le secteur, pour mesurer l'épaisseur du film et l'indice de réfraction.
L'équipe a ensuite procédé à une analyse des systèmes de mesure de R&R de l'instrumentation, un outil de Minitab, pour vérifier si la variabilité était causée par le système de mesure lui-même. La valeur de mesure générée par l'analyse, R&R de l'instrumentation, s'élève à 9,16, soit un peu moins de 10 %, ce qui indique que le système de mesure Topcon est conforme aux exigences et qu'il n'est pas à l'origine des problèmes rencontrés.
AFFINER LES POSSIBILITES AVEC LES OUTILS DE BRAINSTORMING DE MINITAB
Toujours à la recherche d'éventuels facteurs d'influence, l'équipe a utilisé le diagramme d'Ishikawa (également connu sous le nom de diagramme des causes et effets) dans Minitab Engage pour procéder à un brainstorming. Grâce au diagramme d'Ishikawa et à l'expérience du responsable, l'équipe a identifié deux raisons possibles permettant de supposer que la variation de l'épaisseur du film en nitrure de silicium pouvait être due soit à un dysfonctionnement de l'équipement, soit à un problème au niveau du procédé :
- La fréquence de nettoyage de la vanne papillon, une vanne qui régule le débit des fluides située dans l'équipement de revêtement
- La température du four et l'emplacement du silicium dans le four
Dans un premier temps, l'équipe a cherché à savoir si le nettoyage de la vanne papillon située dans l'équipement de revêtement était un problème. Pour cela, elle a créé un test t à 2 échantillons dans Minitab pour vérifier si la fréquence de nettoyage de la vanne papillon influait fortement sur l'épaisseur du film.