Die Lösung
Das Projektteam musste die Gründe für die große Streuung bei der Schichtstärke analysieren und die möglichen Faktoren herausarbeiten.
URSACHE IN DER PRODUKTIONSLINIE ERMITTELN
Das Team wollte bestimmen, ob das Messsystem oder Prozessfehler die Ursache für die Diskrepanzen bei der Schichtstärke waren. Sie nutzten die Produktprüfplattform von Topcon, eine Prüfanlage nach Industriestandard, um die Schichtstärke und den Brechungsindex zu messen.
Das Team setzte dann die Messsystemanalyse in Minitab ein, um zu erfahren, ob die Streuung auf das Messsystem selbst zurückgeführt werden konnte. Der Analysewert für die Messungen, „R&R (gesamt)“, beträgt 9,16, also weniger als 10 %. Dies weist darauf hin, dass das Messsystem von Topcon die Anforderungen erfüllte und daher nicht die Ursache der Probleme war.
MÖGLICHKEITEN MIT DEN BRAINSTORMING-WERKZEUGEN IN MINITAB EINGRENZEN
Auf der Suche nach anderen Faktoren, die Auswirkungen haben könnten, zog das Team ein Fischgräten-Diagramm (auch bekannt als Ursache-Wirkungs-Diagramm) in Minitab Engage heran, um per Brainstorming weitere Ideen zu sammeln. Auf der Grundlage des Fischgräten-Diagramms und dem vorhandenen Wissen des Teamleiters identifizierte das Team zwei mögliche Gründe, aus denen eine Anlagenstörung oder ein Problem im Prozess die Streuung bei der Stärke der Siliziumnitridschicht verursachen könnte:
- Häufigkeit, mit der das Schmetterlingsventil (das den Durchfluss von Flüssigkeiten steuert) in der Beschichtungsanlage gereinigt wird
- Ofentemperatur und Position des Siliziums im Ofen
Zuerst untersuchte das Team, ob die Reinigung des Schmetterlingsventils in der Beschichtungsanlage ein Problem darstellte. Das Team erstellte einen t-Test bei zwei Stichproben in Minitab, um festzustellen, ob die Reinigungshäufigkeit bei dem Schmetterlingsventil zu einem Unterschied bei der Schichtstärke führt.